净化车间材料是净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强、保温性能好、易施工。圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造地面可采用环氧自流坪地坪或高1级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板。
无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
无尘车间能够分成下列好多个级別：1级、百级、千级、万级、十万级、三十万级、百1万级。 每立方将低于0.5微米粒度的微尘总数操纵在3500个下列，就做到了国际性无尘规范的A1级。现阶段运用在射频收发器生产制造的无尘规范针对尘土的规定高过A1级，那样的高标准关键被运用在一些级别较高芯片生产上。微尘总数被严控在每立方1000个之内，这也就是业界别名级別中的万级。 无尘车间详细地址的挑选应合乎有益生产制造、便捷生活、节约项目投资和经营费用的标准。无尘车间与交通出行主干路间隔宜50米之上。
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