十万级无尘车间的监测
1、无尘车间系统的监测主要是过滤器的更换周期,还有无尘车间对环境的湿度、温度、新鲜空气量、状态、照度等都有严格的规定,保证了产品的生产质量和人员工作环境的舒适。
2、整个无尘车间系统配有一套采用初效、中效、过滤器的三级空气净化系统,控制洁净区内尘粒数等。作为末端过滤装置过滤器决定着整个净化系统的运行效果,无尘车间装修因此对于过滤器的更换时间是非常重要的。
3、在无尘车间的装修里,无论是安装在净化空调机组末端的大风量空气过滤器还是安装在送风口的空气过滤器,这些必需要有准确性的运行时间记录和洁净度及风量作为更换依据,如在常态的使用情况下,过滤器的使用寿命可以长达一年以上。
无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一,无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内,允许误差在±1%的狭窄的范围内,例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
洁净室的分类方法许多,但很多的分类方法是按洁净室的应用特性和洁净室的气流流型来分。 1. 按洁净室的应用特性区划为:①工业生产洁净室。比如电子工业、中国机械、化工厂工业生产等用的洁净室。②微生物洁净室。比如生物医1药、食品类、动物实验喂养,清洁手术室等。③微生物安全实验室。科学研究不微生物菌1种的洁净室。 2. 按洁净室的气流流型区划为:①单向流洁净室(竖直单向流和水准单向流)。②非单向流洁净室③混和流洁净室(即单向流和非单向流组成气流组成的洁净室。④矢流洁净室(放1射性流、顶角流)。