光学微电子净化工程目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医1药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。是将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。
无尘车间的洁净度往往受到气流的影响,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。无尘车间所利用过滤器过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些尘埃一旦扩散便无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。为了防止再次进入和往返作业对无尘车间造成交叉污染,人员在作业中途和作业宽毕均应按规定的顺序退出无尘车间。
随着现代化生产的发展及工业技术的升级换代,对于无尘清洁生产及其环境的要求越来越高,比如无尘车间要求车间地坪要耐腐蚀、洁净和耐磨,室内空气含尘量尽量的低,有很多无尘车间净化厂房,还要求地面具备防静电和防1菌抑菌性能。除了工业生产净化厂房对室内净化程度要求外,很多科研、教学、实验、医院也对室内空气净化程度有很高要求。