光学微电子净化工程目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医1药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。是将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。
无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。无尘车间室内空气经处理后,所含微粒数少于一定数量要求,一般分十万级、万级、千级等,即室内每立方米空间的微粒数不大于十万、一万、一千个……目前,无尘车间已经在电子、光学、精密仪器、注塑等行业里广泛使用。
无尘车间在设计时一定要符合生产工艺过程的要求。不管是上工序还是下工序,两者间的运输距离要短,尽量避免迂回和往返运输。车间的地面要用坚固、防滑、易清洁、不渗水、耐腐蚀的材料铺制;墙面则要铺有2米以上的墙裙,墙面用耐腐蚀、易清洗消毒、坚固、不渗水的材料铺制及用浅色,防水、无毒、不易脱落、防霉、可清洗的材料覆涂。